沃森SINOVAC工业无尘室吸尘系统
 

针对无尘室洁净半导体配件的真空吸尘装置，需要满足超高洁净度、防静电、无金属污染、低振动等严苛要求。以下是关键设计要点和推荐方案：

核心要求
无颗粒释放

过滤系统需达到 ULPA U15级（99.9995% @ 0.12μm） 或更高。

材质需用316L不锈钢或氟聚合物涂层，避免金属离子污染。

防静电设计

吸头、管道采用碳纤维填充聚合物或抗静电PVDF。

接地电阻需 <10⁹ Ω，防止静电损伤敏感元件。

化学兼容性

接触化学溶剂的部件需耐受IPA、丙酮等常用清洗剂。

低振动与低噪音

电机需磁悬浮技术或隔振设计，振动幅度 <5μm。

推荐装置配置
组件 技术方案 
主机 无油涡旋真空泵 + HEPA预过滤 + ULPA主过滤 
吸头 抗静电PTFE吸嘴 + 软毛刷（可更换）
管道 导电硅胶软管（内嵌不锈钢螺旋接地） 
过滤系统 三级过滤：G4初效 + H14 HEPA + U15
控制单元 变频调速 + 压差传感器（自动报警） 
操作规范
使用前验证

用 0.1μm 激光粒子计数器 检测排气洁净度（ISO Class 1标准）。

吸尘流程

吸头与配件保持 5-10mm距离，避免机械接触损伤表面。

采用单向线性移动（禁止来回摩擦）。

维护周期

ULPA滤芯每 500小时或压差>200Pa 强制更换。

每周用超纯水+IPA擦拭吸头内壁。

特殊场景解决方案
纳米级颗粒控制：增加 离子化喷嘴（如 Simco-Ion JetCharge），中和表面电荷防止颗粒吸附。

晶圆背面清洁：使用 非接触式文丘里吸头（真空间隙控制精度±0.1mm）。

在线监测：集成 APC（先进过程控制）系统，实时反馈颗粒数量至MES
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